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    易度儀器順利取得中國層流質(zhì)(zhì)量流量計CPA證書(shū)(shū)

    時(shí)(shí)間:2022-12-01      點(diǎn)(diǎn)擊次數:2207


    近日,易度儀器收獲喜訊,其自主研發(fā)(fā)的通用型層流質(zhì)(zhì)量流量計系列產(chǎn)(chǎn)品,通過(guò)(guò)中國計量科學(xué)(xué)研究院的計量器具型式評價(jià)(jià)試驗,獲得中國..層流質(zhì)(zhì)量流量計計量器具型式批準資質(zhì)(zhì)證書(shū)(shū)(簡(jiǎn)(jiǎn)稱(chēng)(chēng)CPA證書(shū)(shū))。產(chǎn)(chǎn)品精度達到國家可批準.高級別1.0級,重復性0.1%,響應時(shí)(shí)間0.01S。

    一直以來(lái)(lái),小微氣體、液體流量的測量和控制被西方發(fā)(fā)達國家技術(shù)(shù)壟斷,這項技術(shù)(shù)在眾多制造領(lǐng)(lǐng)域,包括半導體、生物制藥、新材料等都屬于重要核心技術(shù)(shù)。易度儀器層流質(zhì)(zhì)量流量計的研發(fā)(fā)和誕生,是公司博士、碩士組成的高素質(zhì)(zhì)創(chuàng )(chuàng )業(yè)(yè)骨干,聯(lián)(lián)合國內..的..學(xué)(xué)者等組成研發(fā)(fā)團隊,面對國外技術(shù)(shù),自2011年以來(lái)(lái)恪守流體測控領(lǐng)(lǐng)域,自主創(chuàng )(chuàng )新,不懈努力的結晶。


    苦心孤詣:七年研發(fā)(fā),挑戰世界難題


    2011年,這個(gè)(gè)以“80后"為主力軍的研發(fā)(fā)團隊開(kāi)(kāi)始向國外技術(shù)(shù)發(fā)(fā)起挑戰,當時(shí)(shí)國外進(jìn)(jìn)口的設備獨步天下,相關(guān)(guān)技術(shù)(shù)也被西方發(fā)(fā)達國家壟斷,國內只有個(gè)(gè)別廠(chǎng)(chǎng)商可以生產(chǎn)(chǎn)一些低端產(chǎn)(chǎn)品,精度低,重復性差,只能配套于低端產(chǎn)(chǎn)業(yè)(yè),由于缺乏核心傳感器技術(shù)(shù),即便拆開(kāi)(kāi)了國外的設備,也難以突破。無(wú)(wú)數事實(shí)(shí)表明:試圖通過(guò)(guò)仿制國外產(chǎn)(chǎn)品的路是走不通的。從研發(fā)(fā)一開(kāi)(kāi)始,易度團隊就清醒地認識到,精密儀器屬于技術(shù)(shù)密集型產(chǎn)(chǎn)品,只有通過(guò)(guò)自主創(chuàng )(chuàng )新,遵循“概念論證"——“關(guān)(guān)鍵技術(shù)(shù)驗證"——“方案驗證"——“原理樣機"——“工程樣機"——“產(chǎn)(chǎn)品樣機"——“產(chǎn)(chǎn)品"的技術(shù)(shù)路線(xiàn)(xiàn),才能真正掌握技術(shù)(shù),研發(fā)(fā)出高精尖的產(chǎn)(chǎn)品。


    這一技術(shù)(shù)路線(xiàn)(xiàn)耗時(shí)(shí)之長(cháng)(cháng)、成本之高、風(fēng)(fēng)險之大,他們中很多人放棄了高薪的工作、舒適的生活,有家人的不理解,也有周?chē)說(shuō)某靶?。當時(shí)(shí)在微流量測量領(lǐng)(lǐng)域擺在研發(fā)(fā)團隊面前的有兩條技術(shù)(shù)方向:一是以傳熱學(xué)(xué)原理為基礎的熱式質(zhì)(zhì)量流量計,主要由歐美日的六七家公司占據全球絕大部分市場(chǎng)(chǎng),是技術(shù)(shù)的主流,技術(shù)(shù)成熟度較高,但國內一直無(wú)(wú)法掌握熱式傳感器這一技術(shù)(shù)核心;另外一條是以“哈根泊肅葉定理"為基礎的層流質(zhì)(zhì)量流量計,其核心的層流傳感器研發(fā)(fā)由于技術(shù)(shù)難度更高,制造工藝極為復雜,讓那些生產(chǎn)(chǎn)熱式質(zhì)(zhì)量流量計的國際..廠(chǎng)(chǎng)商也望而卻步。幾十年來(lái)(lái),全球范圍內..取得重大層流技術(shù)(shù)突破的只有一家美國公司,但離實(shí)(shí)現大規模商業(yè)(yè)應用還有不小的距離。


    最終,考慮到熱式技術(shù)(shù)已趨于成熟,發(fā)(fā)展空間趨于飽和,在充分調研后,這群80后“初生牛犢,擁有廣闊技術(shù)(shù)發(fā)(fā)展空間,但技術(shù)(shù)門(mén)(mén)檻更高的層流質(zhì)(zhì)量流量計技術(shù)(shù)路線(xiàn)(xiàn),開(kāi)(kāi)始專(zhuān)(zhuān)注于攻克核心技術(shù)(shù)——“通用型層流傳感器"的研發(fā)(fā)。


    獨立自主:攻克核心,成就中國..


    毫不夸張地說(shuō)(shuō),一個(gè)(gè)國家微流體測控水平的高低,決定著(zhù)(zhù)制造業(yè)(yè)水平的高低。小微流量測控領(lǐng)(lǐng)域通常測量范圍在0.0001ml/s~100000ml/s,跨度范圍超過(guò)(guò)9個(gè)(gè)數量級,而每次測量響應速度要小于0.01s,連續兩次測量的相對誤差小于千分之一,技術(shù)(shù)難度可想而知。


    易度團隊歷時(shí)(shí)七年苦心孤詣的研究,從2013年..款層流傳感器原理驗證機的誕生,到2014年..代控制板原理驗證機的研發(fā)(fā),2015年底..臺層流質(zhì)(zhì)量流量計工程樣機的研發(fā)(fā)成功,一直到2017年6月,..代層流質(zhì)(zhì)量流量計的問(wèn)(wèn)世,2018年底順利通過(guò)(guò)國家計量院的型式評價(jià)(jià)認證。這其中沒(méi)(méi)有現成的經(jīng)(jīng)驗可以借鑒,所有的工作都要從零開(kāi)(kāi)始,一遍一遍地設計,一次一次地試驗,失敗了,重新開(kāi)(kāi)始,重新改進(jìn)(jìn),研發(fā)(fā)過(guò)(guò)程是痛苦的,但值得驕傲的是,易度團隊堅持了下來(lái)(lái),啃下了一個(gè)(gè)個(gè)(gè)硬骨頭,并掌握了這項核心技術(shù)(shù),成就了今天的產(chǎn)(chǎn)品。


    目前該項技術(shù)(shù)已獲國家發(fā)(fā)明..兩項,同時(shí)(shí)在全球PCT檢索中具有新穎性。在國內,也只有易度公司掌握了通用型層流測控技術(shù)(shù),產(chǎn)(chǎn)品經(jīng)(jīng)過(guò)(guò)國家.高機構的驗證,成為中國..通過(guò)(guò)認證的通用型層流質(zhì)(zhì)量流量計生產(chǎn)(chǎn)商。


    永無(wú)(wú)止境:高效專(zhuān)(zhuān)注 增添中國力量



    易度儀器成功研發(fā)(fā)出的層流質(zhì)(zhì)量流量計和控制器,不僅能實(shí)(shí)現對氣體和液體質(zhì)(zhì)量流量的測量,還能精準控制,是國內..款自主研發(fā)(fā)的層流原理數字化產(chǎn)(chǎn)品。經(jīng)(jīng)過(guò)(guò)無(wú)(wú)數次技術(shù)(shù)改進(jìn)(jìn),產(chǎn)(chǎn)品正日趨成熟,實(shí)(shí)現了在-20℃到60℃環(huán)(huán)境下的正常使用,精度控制在1.0級以?xún)?,重復?.1%,響應時(shí)(shí)間達到0.01S。


    聚焦用戶(hù)(hù)過(guò)(guò)程控制,半導體300多項關(guān)(guān)鍵工藝中,有光刻、氣相沉積、單晶生產(chǎn)(chǎn)等超過(guò)(guò)70%的工藝項點(diǎn)(diǎn)都與微流量測量相關(guān)(guān);石墨烯等新材料的生產(chǎn)(chǎn)制造過(guò)(guò)程中,.常用的方法增強等離子的化學(xué)(xué)氣相沉積,也需要精準配給氣體和液體;等離子體發(fā)(fā)動(dòng)(dòng)機作為未來(lái)(lái)航天發(fā)(fā)展方向,在生產(chǎn)(chǎn)制造工藝和地面測試環(huán)(huán)節,需要測量小于1ml/min稀有氣體的質(zhì)(zhì)量流量,這是等離子體發(fā)(fā)動(dòng)(dòng)機穩定工作的關(guān)(guān)鍵測試工藝。


    近五年,全球微流量測量領(lǐng)(lǐng)域業(yè)(yè)務(wù)(wù)每年以30%的速度迅猛增長(cháng)(cháng),隨著(zhù)(zhù)以芯片制造、生物醫藥、新材料、3D打印和微納制造為代表的新興制造業(yè)(yè)的迅猛發(fā)(fā)展,更加精細化的制造工藝對微流量測量控制儀器提出了更高要求。在當前國家大力發(fā)(fā)展制造業(yè)(yè)的背景下,易度儀器有責任也有信心繼續精鉆技術(shù)(shù),專(zhuān)(zhuān)注流體測控領(lǐng)(lǐng)域,解決微流量測控領(lǐng)(lǐng)域難題。


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